1, 3, 21, 271, 5065, 122811, 3651997, 128566663, 5227782161, 241072839667, 12430169195941, 708612945554559, 44253858433505497, 3004570398043291819, 220341964157226260525, 17357760973540312138231, 1461813975265547356467745, 131061164660246579394042339