1, 1, 3, 7, 43, 171, 1581, 8793, 108347, 774763, 11933593, 104297733, 1927782517, 19911877285, 429380343003, 5117339645967, 126114825517467, 1703436268264475, 47228082430915401, 712959300038464773, 21963252371434460273, 366460163952069281073, 12417991841852814383103